凈化車間是能量消耗大戶，這是因為要保持潔凈的生產(chǎn)環(huán)境所必需的空氣潔凈度等級、壓差、溫度、相對濕度要求；防止污染和交叉污染，凈化車間內(nèi)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)過程的要求排除生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的粉塵、熱量、有機(jī)溶劑等所需的全室或局部排風(fēng)裝置，與此同時需向凈化車間內(nèi)送入相應(yīng)的或必需的室外新鮮空氣；根據(jù)不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數(shù)/送風(fēng)量。

為進(jìn)行正常的產(chǎn)品生產(chǎn)，凈化車間內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備需按產(chǎn)品的特點供應(yīng)電力、純氣、純水、高純化學(xué)品等，這些也需消耗大量的能源，伴隨著電力等能量的消耗，在凈化車間內(nèi)產(chǎn)生的各種形式的發(fā)熱量還需進(jìn)行冷卻，有時這種需進(jìn)行冷卻的熱負(fù)荷量是不可忽視的。

凈化車間所需的凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷與一般工業(yè)廠房或?qū)懽謽堑囊话憧照{(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷相比，前者因空氣潔凈度等級和無塵室內(nèi)生產(chǎn)工藝要求的不同，冷負(fù)荷大約為2093－6280kj/(㎡.h)，而寫字樓的一般空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷僅335－502kj/(㎡/h).半導(dǎo)體集成電路制造或生物醫(yī)藥產(chǎn)品的主要生產(chǎn)工序都要求在無塵室內(nèi)進(jìn)行，為了保持所必須的空氣潔凈度等級，需要將大量的空氣通過高效過濾后送入無塵室內(nèi)，寫字樓的一般空調(diào)房間的換氣次數(shù)為10次.h-1以下，而大規(guī)模集成電路生產(chǎn)所需的5級（100級）、4級（10級）、3級（1級）無塵室的換氣次數(shù)可能達(dá)數(shù)百次，其送風(fēng)量將會比前者大數(shù)十倍以至百倍上，因此無塵室的凈化空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量比其他類型建筑物的一般空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量大得多，據(jù)調(diào)查統(tǒng)計大規(guī)模集成電量約占工廠總耗電量的50%左右；制藥工廠潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量約占工廠總耗電量的60%左右！

如果萬級無塵室節(jié)能不采取新的措施——革新設(shè)計方法、研制新式節(jié)能設(shè)備、提高運行管理水平，則將無法滿足消費者的要求，所以各公司對凈化車間的凈化，無不從設(shè)計、運行管理、研究開發(fā)方面考慮各種手段、措施來減少能耗。

 一、萬級無塵室節(jié)能方面采取的措施

 1.廠址選擇、建筑布局與工藝設(shè)置的合理性，可以從根本上降低初投資及運行費用。

 2.減少凈化空間是大家共同關(guān)注的實現(xiàn)節(jié)能的快捷有效途徑的方向。凈化系統(tǒng)的風(fēng)量取決于房間體積和換氣次數(shù)，而換氣次數(shù)大多由潔凈級別所確定，因此要降低 潔凈系統(tǒng)的風(fēng)量可以減小凈化空間入手。因為低風(fēng)量化即合理地選定換氣次數(shù)可以減少送風(fēng)動力消耗。同時在管路設(shè)計中盡可能減少系統(tǒng)的阻力，也可達(dá)到降低送風(fēng) 動力消耗的效果。

 3.正確確定生產(chǎn)設(shè)備的熱負(fù)荷對選定空調(diào)制冷設(shè)備有直接關(guān)系。

 4.空調(diào)和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理性。

 5.工藝過程中和空調(diào)系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應(yīng)充分利用這部分熱量，使之達(dá)到物盡其用的目的。

 6.設(shè)計方案應(yīng)具有較好的適應(yīng)性（靈活性），它是實驗性車間必須考慮的問題（如單向流/非單向流的轉(zhuǎn)換、分區(qū)轉(zhuǎn)換等）。

 7.新風(fēng)集中處理有利于應(yīng)用地下水預(yù)冷、除塵和加濕。

 8.室內(nèi)換氣次數(shù)和末級過濾器效率之間的組合（達(dá)到相同級別）需進(jìn)行經(jīng)濟(jì)比較。

 二、 萬級無塵室運行過程中的注意事項

 1.生產(chǎn)工作停止時，排氣柜應(yīng)減小排風(fēng)量，新風(fēng)量亦應(yīng)隨之調(diào)小。

 2.根據(jù)不同的工藝過程應(yīng)能有效控制室內(nèi)換氣次數(shù)。

 3.與一般空調(diào)系統(tǒng)相同，運行中在某些季節(jié)應(yīng)盡可能利用自然的冷卻作用（室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水）。

 4.過渡季是否增加新風(fēng)比，以及值班運行方式是否提前開動運行均應(yīng)通過經(jīng)濟(jì)比較確定。

 5.提高空調(diào)凈化系統(tǒng)的自控水平，能夠?qū)崿F(xiàn)既保證運行質(zhì)量，又能達(dá)到節(jié)能的目的。

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